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梅德庆

来源:academic 发布时间:2019-12-13 作者: 阅读数:585次

51-梅德庆.jpg        梅德庆博士、教授、博士生导师              medqmei@zju.edu.cn


智能制备与精密加工技术培养研究方向依托浙江晶盛机电股份有限公司与浙江大学机械工程学院开展项目制研究生培养。校内导师团队由浙江大学机械工程学院梅德庆教授和汪延成副教授组成。

梅德庆教授,现任浙江大学机械工程学院党委书记兼副院长,浙江大学流体动力与机电系统国家重点实验室副主任,全国塑性工程学会微纳米成形技术委员会委员,浙江省“十二五”新能源汽车技术重大专项专家组成员。主要从事微细制造、氢能装备设计与制造、3D打印与增材制造等方向研究,已主持国家或省部级项目20余项,发表学术论文80余篇,其中,已被SCI检索50余篇。已获授权国家发明专利50余项。

汪延成副教授,现任浙江省先进制造技术重点实验室副主任。主要从事微传感检测技术、微制造技术研究,已主持国家或省部级项目10余项,发表学术论文70余篇,获授权国家发明专利15项;获得国际学术会议最佳论文奖7次。

智能装备与精密加工技术培养研究方向的介绍:

团队的项目制培养研究方向主要依托于浙江晶盛机电股份有限公司,开展集成电路相关的智能加工装备与精密加工技术研究。主要研究内容有:1)针对集成电路硅材、蓝宝石等硬脆材料的高效率加工,开展旋转超声套料加工装备及工艺的研发;2)针对大尺寸晶圆硅片的低损耗高效率输运,开展大尺寸晶圆硅片的近场超声悬浮搬运技术及装备的研发;3)针对大尺寸晶圆硅片高质量外延生长,开展大尺寸晶圆硅片的真空吸附搬运技术及外延生长工艺研究。团队的项目制研究生培养,将为我国集成电路精密加工所需的装备研发和技术攻关所需的高科技人才培养提供支撑。